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簡要描述:1100℃三溫區(qū)帶滑軌8.5″管式爐GSL-1100X-8.5-SR-III是三溫區(qū)滑軌真空管式爐,可通入混合氣體進(jìn)行低壓力化學(xué)氣相沉積處理。本機(jī)可在不同氣氛下,在Z大6″的基片上生長多種薄膜。
產(chǎn)品分類CLASSIFICATION
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詳細(xì)介紹
產(chǎn)品型號(hào) | 1100℃三溫區(qū)帶滑軌8.5″管式爐GSL-1100X-8.5-SR -III | ||
主要特點(diǎn) | 1、爐體采用高純度氧化鋁多晶纖維保溫材料,環(huán)保節(jié)能。內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口氧化鋁涂層,可以提高設(shè)備 的加熱效率,同時(shí)也可以延長儀器的使用壽命。 2、滑軌式法蘭結(jié)構(gòu),方便取放樣品。 3、設(shè)有雙K型測溫?zé)犭娕己?/span>一個(gè)額外的溫度校準(zhǔn)檢測系統(tǒng)。 4、三個(gè)加熱區(qū)域?qū)崿F(xiàn)更長的溫度區(qū)和一個(gè)特定的溫度梯度。 5、采用三個(gè)PID控制器 ,通過可控硅來進(jìn)行溫度控制,可以設(shè)置30段升降溫程序。 6、右端法蘭裝載石英管堵,用以阻止熱輻射;左端法蘭上設(shè)有4片磨砂石英擋片,用于阻止熱輻射。 7、已通過CE認(rèn)證。 | ||
技術(shù)參數(shù) | 1、電源:單相220V 8KW 2、石英管:外徑Φ216mm,內(nèi)徑Φ208mm,長1300mm 3、加熱元件:Ni-Cr-Al電阻絲 4、加熱區(qū)域:長900mm 5、溫區(qū):3個(gè),各300mm長 6、恒溫區(qū)域:500mm(三個(gè)溫區(qū)設(shè)置一樣的溫度) 7、工作溫度:zui高1100℃,連續(xù)工作400℃-1000℃ 8、zui大升降溫速率:10℃/min 9、控溫精度:±1℃ 10、真空度:10-2torr(機(jī)械泵),10-5torr(分子泵) 11、熱偶檢測口:1個(gè) 12、真空接口:KF-25 13、進(jìn)氣接口:5路,精密不銹鋼針閥密封 14、爐體:1000mm×700mm×1060mm 15、滑軌:600mm | ||
產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸:1780mm×1780mm×1650mm;重量:354kg | ||
標(biāo)準(zhǔn)配件 | 1 | 石英管堵 | 1個(gè) |
2 | KF-25真空擋板閥 | 1個(gè) | |
3 | KF-40不銹鋼波紋管 | 1根 | |
可選配件 | 1、軟件接口模塊和PC機(jī) 2、K型熱電偶(Φ6.35mm×915mm,用于對(duì)爐膛溫度校準(zhǔn)) 3、冷水機(jī) |
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