VTC-600G高真空磁控濺射儀是新自主研制開發(fā)的鍍膜設(shè)備，可用于制備單層或多層鐵電薄膜、導(dǎo)電薄膜、合金薄膜、半導(dǎo)體薄膜、陶瓷薄膜、介質(zhì)薄膜、光學(xué)薄膜、氧化物薄膜、硬質(zhì)薄膜、聚四氟乙烯薄膜等。VTC-600G高真空磁控濺射儀可選配多個(gè)靶槍，配套射頻電源用于非導(dǎo)電靶材的濺射鍍膜，配套直流電源用于導(dǎo)電性材料的濺射鍍膜。與同類設(shè)備相比，其不僅應(yīng)用廣泛，且具有體積小便于操作的優(yōu)點(diǎn)，是一款實(shí)驗(yàn)室制備材料薄膜的理想設(shè)備，特別適用于實(shí)驗(yàn)室研究固態(tài)電解質(zhì)及OLED等。·可選配多個(gè)靶槍，配套射頻電源用于非導(dǎo)電靶材的濺射鍍膜，配套直流電源用于導(dǎo)電性材料的濺射鍍膜（靶槍可以根據(jù)客戶需要任意調(diào)換）。
·可制備多種薄膜，應(yīng)用廣泛。
·體積小，操作簡便。
·整機(jī)模塊化設(shè)計(jì)，真空腔室、真空泵組、控制電源分體式設(shè)計(jì)，可根據(jù)用戶實(shí)際需要調(diào)整。
·可根據(jù)用戶實(shí)際需要選擇電源，可以一個(gè)電源控制多個(gè)靶槍，也可多個(gè)電源單一控制靶槍。

產(chǎn)品 名稱	VTC-600G高真空磁控濺射儀
產(chǎn)品 型號	VTC-600G
主要參數(shù)	1、結(jié)構(gòu)：臺(tái)式前開門結(jié)構(gòu)，后置抽氣系統(tǒng)。  2、極限真空：6.0X10-5Pa。  3、漏率：1h≤0.5Pa。  4、抽氣時(shí)間大氣至5.0X10-3約20分鐘。  5、真空泵組：機(jī)械泵+分子泵。  6、樣品臺(tái):φ140、室溫-500℃、精度±1℃ （可根據(jù)實(shí)際需要提升溫度） 自轉(zhuǎn)5rpm-20rpm內(nèi)可調(diào)。 可根據(jù)客戶需求選配加裝偏壓功能， 以實(shí)現(xiàn)更高質(zhì)量的鍍膜。 7、加氣系統(tǒng)：質(zhì)量流量計(jì)2路。 （氬氣/氮?dú)飧饕宦罚?nbsp; 8、靶頭與樣品臺(tái)中軸線夾角為34°  9、靶頭數(shù)量：3個(gè)（互成120°）。 10、 靶槍冷卻方式：水冷  11、靶材尺寸：φ2″，厚度0.1-5mm （因靶材材質(zhì)不同厚度有所不同）
	12、產(chǎn)品規(guī)格： ·尺寸： 整機(jī)尺寸：700mm×852mm×1529mm；

序號	名稱	數(shù)量	圖片鏈接
1	樣品臺(tái)擋板	（可選）