PCE-6小型等離子清洗機(jī)的等離子腔體為 ?160mm×190mm的石英腔體，采用的射頻電源功率為3.0MHz（1%），輸出功率7.2W、10.2W、29.6W三檔可調(diào)。本機(jī)主要是通過(guò)空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來(lái)去除基片上的氧化層和污染物，同時(shí)也可改變物體表面的性質(zhì)（如親水和疏水性等），對(duì)于基片的清洗以及薄膜處理是較為理想的設(shè)備。體積小，占用的空間少，可有效節(jié)約實(shí)驗(yàn)室空間。配有一個(gè)雙旋真空泵，可對(duì)腔體進(jìn)行抽真空，同時(shí)通入氬氣等氣體，適用于對(duì)易氧化的物品的清洗。1、通過(guò)控制面板的按鍵及開(kāi)關(guān)，可控制調(diào)節(jié)射頻功率、真空泵的開(kāi)閉、清洗時(shí)間。
2、時(shí)間、功率、真空度等信息顯示在一組4位數(shù)碼管上。
3、設(shè)有一個(gè)三通閥，可精確控制進(jìn)氣流量，以及大氣流清洗腔體，進(jìn)氣接口為6mm卡套接口。
4、選用大功率射頻電源設(shè)備可進(jìn)行等離子刻蝕和等離子灰化實(shí)驗(yàn)。