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簡要描述:HVC-SS高真空腔體用于自行搭建實驗真空系統(tǒng),如等離子濺射、CVD或ALD等實驗,同時也可作為高真空儲存箱。
詳細介紹
品牌 | 其他品牌 | 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) |
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高真空腔體產(chǎn)品型號 | HVC-SS高真空腔體 |
技術(shù)參數(shù) | 1、真空腔體:304不銹鋼 2、內(nèi)部尺寸:372mm×420mm×480mm 3、腔門:采用硅膠密封圈密封,直徑Φ350mm,且門上設(shè)有Φ150mm的玻璃窗口 4、真空度:可達1×10-6torr 5、加熱溫度:內(nèi)部加熱平臺溫度可達到150℃ 6、接口:腔體后端有1個KF40接口(用于連接真空泵),頂部有1個1/4NPS(頂板可進行打孔和改造,以便于 安裝各種接口和接頭,可在本司購買快速真空接頭) |
產(chǎn)品規(guī)格 | |
可選配件 | 1、防腐型數(shù)字式真空計(進口,不需因測量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換) 2、分子泵系統(tǒng) 3、快速真空接頭
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