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簡(jiǎn)要描述:生長(zhǎng)納米線CVD爐OTF-1200X-4-NW是一種緊湊型CVD爐,專為生長(zhǎng)各種納米線而設(shè)計(jì),基片Z大3″。在法蘭的左側(cè)裝有一個(gè)小加熱器,可對(duì)輸入的氣體、液體、固體進(jìn)行預(yù)加熱后進(jìn)入 CVD 爐進(jìn)行納米線的生長(zhǎng)。其可滑動(dòng)的樣品架使操作更為簡(jiǎn)單。
產(chǎn)品分類CLASSIFICATION
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詳細(xì)介紹
品牌 | 其他品牌 |
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產(chǎn)品型號(hào) | 生長(zhǎng)納米線CVD爐OTF-1200X-4-NW |
主要特點(diǎn) | 1、由OTF-1200X-4單溫區(qū)爐演變而來(lái)的緊湊型CVD爐。 2、內(nèi)爐膛表面涂有進(jìn)口高溫氧化鋁涂層,可以提高設(shè)備的加熱效率及延長(zhǎng)儀器的使用壽命。 3、帶樣品支架的右法蘭是滑動(dòng)的,方便樣品的快速取放。 4、左側(cè)的小加熱器可對(duì)輸入CVD 爐的氣體、液體、固體或混合物進(jìn)行預(yù)加熱,不銹鋼加熱腔外徑 30mm、長(zhǎng)150mm,zui高工作溫度600℃。 5、左邊法蘭(在加熱器與CVD爐之間)裝有4個(gè)1/4″卡套連結(jié)的通氣管,具有密封和氣體通道的作 用。 6、PID自整定數(shù)字控制器 ,可以設(shè)置30段升降溫程序。 7、選配相關(guān)軟件可用計(jì)算機(jī)進(jìn)行控溫。 8、已通過(guò)CE認(rèn)證。 |
技術(shù)參數(shù) | 1、額定電壓:?jiǎn)蜗?/span>AC 220V 50/60Hz 2、額定功率:3KW(需20A的空氣開(kāi)關(guān)) 3、石英管:外管外徑Φ110mm,內(nèi)徑Φ102mm,長(zhǎng)381mm 4、加熱區(qū)域:CVD爐400mm,加熱器150mm, 5、工作溫度:CVD爐zui高1100℃(<2h),連續(xù)工作200℃-1000℃,zui大升降溫速率10℃/min; 加熱器連續(xù)工作0-500℃,zui大升降溫速率10℃/min 6、控溫精度:±1℃ 7、熱電偶:K型 8、右法蘭:一個(gè)3″石英樣品支架,與石英擋板、法蘭連成一體,設(shè)有KF25真空快接口,以及水冷接 口(可選配水冷機(jī),避免O型圈融化) 9、左法蘭:有2個(gè)獨(dú)立1/4″口,可單獨(dú)將任何氣體通入爐內(nèi),一路1/4″口將預(yù)熱氣體通入CVD爐,一 路1/4″口將不加熱的氣體通入爐內(nèi),并通過(guò)爐內(nèi)的T型結(jié)構(gòu)與加熱氣體匯合 |
產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸:1200mm×450mm×510mm;重量:100kg |
可選配件 | 1、水冷機(jī) 2、控溫軟件 |
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