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簡要描述:500?C真空熱壓機(jī)VHP-5T-4是一款電動真空平板式真空熱壓機(jī),專門用于晶片的焊接和薄膜轉(zhuǎn)移,其可處理Z大樣品尺寸為100mm×100mm,Z高工作溫度為500℃,在此溫度下可對樣品實(shí)加的Z大壓力為6T(七月份更改為Z大壓力40T)。
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詳細(xì)介紹
產(chǎn)品型號 | 500ºC真空熱壓機(jī)VHP-5T-4 |
主要特點(diǎn) | 1、加熱平臺中間嵌有1000W的加熱管,可達(dá)到快速加熱的效果;加熱平臺頂端設(shè)有水冷管(當(dāng)工作 溫度高于200℃時請注入冷卻水(>15L/min)),以達(dá)到快速冷卻的效果。 2、采用兩個精密的溫控器獨(dú)立控制兩塊加熱平臺,且可設(shè)置30段升降溫程序,采用PID方式進(jìn)行溫 度調(diào)節(jié),并帶有過熱和斷偶保護(hù)功能。 3、使用控溫軟件和PC接口可將溫度程序和溫度曲線導(dǎo)入計算機(jī)。 4、數(shù)字壓力顯示器安裝在真空腔體外,可設(shè)置其壓力,當(dāng)壓力達(dá)到設(shè)置值時電機(jī)將自動停止。 5、液壓裝置和加熱臺都置于真空腔體內(nèi),且腔體采用304不銹鋼制作,并焊有加強(qiáng)筋(防止真空狀態(tài) 下腔體變形)。 6、真空腔體前端設(shè)有觀察窗。 7、一個高靈敏度的真空計安裝于真空腔體上,測量內(nèi)部的真空度。 |
技術(shù)參數(shù) | 1、電源:單相AC208V-240V 50Hz/60Hz 2、zui大功率:2500W 3、加熱平臺:采用高溫合金鋼制成,zui高可承受溫度500℃,尺寸135mm×135mm,兩平臺間可移動 距離15mm 4、液壓泵:40T的電動液壓機(jī)與真空腔體相連接,壓力控制精度為±0.01MPa(0.1kg/cm2),自動壓 力控制并帶有數(shù)顯 5、zui高工作溫度:500℃ 6、升溫速率:<10℃/min 7、控溫精度:±1℃ 8、真空度:10E-3torr 9、內(nèi)部腔體尺寸:372mm×420mm×480mm 10、觀察窗口:Φ150mm |
產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸:600mm×500mm×400mm |
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