混氣系統(tǒng)3路質(zhì)子GSL-3Z

簡要描述：混氣系統(tǒng)3路質(zhì)子GSL-3Z是用于控制一種到三種的氣體流經(jīng)真空密封的管式爐，這種氣體控制系統(tǒng)安裝在移動(dòng)架內(nèi)，管式爐可以放在移動(dòng)架上面，氣體控制系統(tǒng)的前面板上有控制并顯示氣體流量的調(diào)節(jié)閥，可以用于CVD系統(tǒng)及退火爐，用來研究氣體環(huán)境對(duì)材料的影響，在半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用，廣泛應(yīng)用于電子工藝設(shè)備，如擴(kuò)散、氧化、外延

產(chǎn)品型號(hào)：GSL-3Z
廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
更新時(shí)間：2016-04-15
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產(chǎn)品型號(hào)	混氣系統(tǒng)3路質(zhì)子GSL-3Z
主要特點(diǎn)	精度高，運(yùn)行穩(wěn)定可靠，工作壓力范圍寬，可在高壓或真空條件下工作，且操作使用方便。
技術(shù)參數(shù)	1、電源：185-245V 50Hz 2、zui大輸出功率：18W 3、控制范圍：控制器1——0-100SCCM、控制器2——1-199SCCM、控制器3——1-499SCCM 5、準(zhǔn)確度：±1%FS 6、線性：±0.5-1.5% 7、重復(fù)精度：±0.2%FS 8、響應(yīng)時(shí)間：氣特性1-4s，電特性10s針閥：316不銹鋼 9、工作壓差范圍：0.1-0.5 MPa 10、壓力表測量范圍：-0.1-0.15MPa（0.01 MPa/grid） 11、混氣罐：Φ80mm×120mm 12、截止閥：Φ1/4″，316不銹鋼針閥 13、工作溫度：5-45℃
產(chǎn)品規(guī)格	尺寸：600mm×600mm×650mm

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